敏感场效应器件及其制造方法与流程技术资料下载

技术编号:18301550

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更具体地,本发明涉及场效应晶体管,该场效应晶体管被设计成以低泄漏电流和高带宽为特征,以便在与根据现有技术的类似的传感器相比时是高度敏感的。它还特别适用于检测电路并且被设计成检测若干种物理量,诸如温度、机械应力、光、化学物质、电离辐射诸如X射线等,并且还适合于被布置成柔性基板阵列或矩阵。在下文中,描述将针对适于感测若干种物理现象的场效应器件,该场效应器件在下文被更好地讨论,但是清楚的是该器件不应被认为是限制于这些特定的用途。如所熟知的,目前工业和科研需要高敏感度的传感器,以便检测不同的物理现象。例...
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