技术编号:18302257
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用以处理基板的基板处理方法、基板处理装置以及对基板处理装置所使用的喷嘴送液的送液方法。成为处理对象的基板例如包括半导体晶圆、液晶显示设备用基板、有机EL(Electroluminescence;电致发光)显示设备等的FPD(Flat Panel Display;平板显示器)用基板、光盘用基板、磁盘用基板、光磁盘用基板、光掩模(photomask)用基板、陶瓷基板、太阳电池用基板等的基板。背景技术在下述专利文献1所记载的基板处理方法中,将药液供给至基板后,为了冲洗附着于基板的药液,对...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。