技术编号:18313768
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及机械领域,尤其涉及一种真空镀膜机。背景技术真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行镀膜的机器。根据镀膜方式的不同又可以分为真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等。众所周知,真空镀膜机内都安装有用于装夹待镀工件的转动架,现有的转动架基本都是包括转动轴、大转盘以及若干个小转盘。其中,转动轴设置于镀膜筒体的容置腔中间,转动轴的输出端与大转盘连接并驱动大转盘转动,若干个小转盘固定于大转盘上,故当转动轴驱动大转盘转动的时候,若干个固定于大转盘上的小转盘也会跟随着大转...
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