技术编号:1832790
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型有关于一种石英晶圆切割机的带锯夹持结构,尤指一种可使该带锯于切割时具有定位、高平整度、偏摆幅度小以及不易扭曲的功效,而达到增加切割速度及延长带锯寿命的石英晶圆切割机的带锯夹持结构。背景技术一般现有的石英晶圆切割机,如图8所示,其由一机台6、二设置于机台6内的致动元件61以及一环设于二致动元件61上的带锯62所构成,而该机台6具有一工作区间63,且该工作区间63的一面具有一平台64,而该带锯62由工作区间63穿过于平台64上,且该带锯62具有一平面...
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