技术编号:1833839
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及光波导器件,是一种离子交换法制备波导的玻璃基片夹具,该夹具主要用于利用离子交换法制备玻璃波导器件的工艺过程中玻璃基片的提取。背景技术近年来,随着集成光学技术的迅速发展,人们对光波导的研究越来越深入,目前光波导的制作主要是在Si、InP、LiNbO3、玻璃等衬底材料上完成的,主要的制备工艺有等离子体化学气相沉淀法、溅射法、溶胶—凝胶法、离子交换法等。其中利用离子交换法制备玻璃光波导器件具有制作工艺简单、成本低廉、制备的玻璃波导器件具有传输损耗低...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。