技术编号:18355178
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本文讨论的公开内容涉及一种半导体器件和制造方法。背景技术利用铁电存储器的极化反转在铁电电容器中保持信息的铁电随机存取存储器(FeRAM)的开发最近取得了发展。FeRAM是一种非易失性存储器,配置为即使在电源关闭的时候也能保存信息。这种铁电存储器具有高集成度、高速驱动、高耐用性和低功耗特性。具有钙钛矿晶体结构、剩余极化强度为大约10μC/cm2至30μC/cm2的铁电氧化物主要用作形成铁电电容器的铁电膜材料;铁电氧化物的例子包括PZT(Pb(Zr,Ti)O3)和SBT(SrBi2Ta2O9)。铁电...
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