工件的截断方法和装置、划线和截断方法、以及带截断功能的划线装置的制作方法技术资料下载

技术编号:1836981

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本发明涉及截断由半导体晶片、玻璃等脆性材料构成的工件的工件的 截断方法和装置、划线和截断方法、以及带截断功能的划线装置。背景技术作为将由半导体晶片、玻璃等脆性材料构成的工件截成规定形状的方 法,采用了将工件送入旋转刀片上并将其截成方块状的切割方法。在该切 割方法中,工件中被送入旋转刀片的部分被全部去掉。近年来,代替切割方法,采用一种在通过划线装置在工件的表面上刻 出划线后,通过截断装置使裂纹沿着刻线发展来截断工件的截断方法(例如,参考专利文献1中的 [00...
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