技术编号:1837038
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及能够有利地用于由以玻璃、硅、氮化硅为代表的硬且脆的材 料形成的加工对象物的切断或者开槽的、具有圆盘状的切断刀具的切断工具 以及切断装置。背景技术为了将由以玻璃、硅、氮化硅为代表的硬且脆的材料形成的加工对象物 切断或者开槽,使用具有圓盘状的切断刀具来作为切断工具的切断装置。在 该切断装置中, 一边令圓盘状的切断刀具旋转, 一边令刀具的外周缘端部的 刃尖与加工对象物接触,由此进行加工对象物的切断或者开槽。在使用这样的切断装置而将例如硅晶片切断为多个硅...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。