技术编号：18374239
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种SEM环境下建立全景立体微区图的方法，属于微纳技术、微纳操作技术领域。背景技术材料数据库建设作为材料科学集成化研究领域的重要内容，其目的是能在大数据的背景下实现对材料研究及应用进行指导，因此迫切需求更加全面和多元的数据作为基础支撑。扫描电子显微镜(SEM)具有优秀的二维形貌成像和大视场快速扫描能力，且具备纳米级甚至亚纳米级分辨率，因此在材料科学研究领域成为常用的现代分析仪器。但是，扫描电子显微镜仅能得到研究对象在X-Y平面内的二维形貌信息，无法获取深度方向(Z向)信息，因此在三维...
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