技术编号:1837480
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及溶胶凝胶镀膜方法。特别是一种二氧化硅双层复合增透膜的镀制方法,以解决惯性约束核聚变(ICF)高功率激光器靶场激光入射窗口玻璃增透的问题。背景技术 在ICF高功率激光器中,靶丸安置于靶场之中,激光必须通过靶场的窗口玻璃入射。窗口玻璃为二氧化硅晶体,造价昂贵。为了使激光传送效率更高,必须在二氧化硅晶体上镀制光学增透膜层。同时,在不同的实验中,入射的激光波长也不相同,比如分别有532nm,1053nm等。而以前在高功率激光器靶场的二氧化硅晶体表面用溶胶...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。