技术编号:1837859
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微电子及材料领域的一种薄膜材料,涉及有关超导薄膜微细图形的制备方法,具体的说,是一种。背景技术 钇钡铜氧的化学式为YBa2Cu3O7-x,简写为YBCO。钇钡铜氧薄膜可用于微电子领域,制成的各种高,精,尖电子器件,比如超导量子干涉仪(SQUID),超导耦合天线(Antenna-coupled)、超导探测器(Superconductorbolometric detectors)等。薄膜微细图形化技术是光电子、微电子领域中的关键技术之一。长期以来,薄...
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