技术编号:18385813
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微波真空试验炉技术领域,具体为一种双测温微波真空试验炉。背景技术微波真空实验炉为标准的微波实验工作站,具有升温速度快、效率高、被加工物料一致性好,该炉除具有高温微波炉及其烧结工艺技术特有的“高、低、快、省”的优点外,还具有用途广、操作简便、工艺重复性、稳定性好的显著优点,特别适宜新材料的研制、试验、及小量生产之用。传统的双测温微波真空试验炉在进行半导体材料或者金属材料的热处理中,材料由于高温会产生气体,这气体会参杂一些金属元素,再粘覆在炉内壁,经过冷却作用后形成污垢,而微波真空实验炉又...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。