技术编号：18386546
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及产品测量设备领域，具体涉及一种3D形貌测量误差的在线补偿测量装置。背景技术进行晶圆产品三维形貌测量过程中，通过采用高精度滑台来提高三维形貌的测量精度，使待测产品在高精度滑台上滑动测量产品各点的实际厚度值，以作为三维形貌建模的高度坐标。高精度滑台尺寸生产成本较高，并且对于较大运动幅面滑台无法做到比较高的运动平整度，当滑台的运动平整度不足时，会导致产品厚度测量出现误差。发明内容本发明实施例的目的在于提供一种3D形貌测量误差的在线补偿测量装置，用以解决现有三维形貌测量过程中高精度滑台尺寸生产...
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