技术编号：18390976
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种承载盘，具体涉及一种可使视觉模块或光学模块清晰地撷取工件的定位记号或辨识轮廓的承接装置。背景技术工件，如晶圆、芯片、电子仪器、食品、零件等，其会于加工制程中不停地移动，直到整个加工制程结束。若该加工制程为精密制程，则工件需要于移动过程的前后施加定位程序，以使工件能够精准地被放置于应放置的位置。特别是薄形化或切割后的晶圆，因其受到物理结构特性的影响，晶圆的平整度较不易控制，故于加工制程中需有一足以支撑和固定晶圆的承载台，而使加工前的晶圆能进行精准的方向与位置定位。现有的定位方式使...
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