技术编号：18399925
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及基板蚀刻技术领域，尤其涉及一种蚀刻设备。背景技术薄膜晶体管液晶显示器(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display,TFT-LCD)是目前常见的液晶显示器产品，在其生产过程中，湿法蚀刻工艺是极其重要的一个环节。湿法蚀刻是利用混合酸液对玻璃表面的掩膜层未覆盖的金属层进行侧向蚀刻，由于蚀刻设备是采用湿法蚀刻的方式对基板进行蚀刻，当基板在蚀刻设备内进行蚀刻时，蚀刻液喷洒在基板上方后，从掩膜层的通孔及边缘处流下，接触并腐蚀金属层。在蚀刻过程中，掩膜层的...
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