技术编号:18405193
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及的是研磨头微漏检测系统。背景技术半导体研磨机台是用以对晶圆做工艺研磨的生产设备,通过研磨头对晶圆进行工艺研磨。研磨头在对晶圆做工艺研磨时,气室会压着晶圆在水性研磨液中进行研磨,研磨完毕后气室会通入直空把晶圆吸起来。如果气室膜有微破损,会导制气压不稳甚至晶圆碎裂。现有技术中的半导体研磨机台无法有效对气室膜的微破损造成的微漏进行有效检测,气室膜气压不稳会导致晶圆研磨效率无法得到保证,以致晶圆碎裂无法及时发现会影响产品质量稳定性。发明内容本发明提出的是研磨头微漏检测系统,其目的旨在填补现有技...
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