技术编号:18406085
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及集成光电子领域,尤其涉及一种通过偏振旋转测量获得波导内应力信息的方法及装置。背景技术随着光通讯,光传输的普及,传统的微光学器件正由集成光学,集成光电器件所代替。光波导是集成光电器件中最常见的器件之一。光波导是能限制、传输和耦合光波的几何波导结构,能够将光波限制在其内部或其表面附近,引导光波沿着确定的方向传播的导光通道。绝缘衬底上的薄膜硅材料(Silicon-on-insulator,SOI)是一种新型的硅基光电子材料,其加工工艺和标准的CMOS工艺兼容性良好,近年来在半导体光电子学领域...
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