技术编号:18411718
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及形状精度检测技术领域,特别是涉及一种基于膜厚检测的形状精度检测方法。背景技术目前,工件表面形状精度和表面粗糙度的检测方法主要包括非接触式测量方法和接触式测量方法。非接触式测量是指将工件装夹在激光干涉仪上,通过激光干涉的原理测出工件表面的形状精度和表面粗糙度,或将工件放在白光干涉仪/激光共聚焦显微镜等光学显微镜上测量出工件表面的形状精度和表面粗糙度,但存在以下缺点:(1)由于测量视场的限制只能测量小口径工件的表面形状精度和表面粗糙度;(2)装夹工件时,由于装夹力的存在导致工件发生变形(尤...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。