技术编号:18416148
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微机电系统器件技术领域,特别涉及一种自保持MEMS继电器的触点结构。背景技术微机电系统(MEMS,Micro-Electro-Mechanical System),是在微电子技术基础上发展起来的,融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的电子机械器件。如MEMS继电器(微机电系统继电器)是用以上制造技术实现的电动开关。MEMS继电器按照可动部分的驱动原理划分,包括压电式、电磁式、热电式以及静电驱动式几种。其中,静电式MEMS继电器的驱动机理为依赖库...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。