技术编号:18416807
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种金属层用蚀刻剂组合物和一种使用其制造导电图案的方法,更具体地,涉及一种包括酸组分的金属层用蚀刻剂组合物和一种使用其制造导电图案的方法。背景技术例如,薄膜晶体管(TFT)用作半导体装置和显示装置中的驱动电路的一部分。TFT可以布置在例如有机发光显示(OLED)装置或液晶显示装置(LCD)的基板上的每个像素中,并且可以与诸如像素电极、对电极、源电极、漏电极、数据线、电源线等的布线连接。为了制备电极或布线,可以在显示基板上形成金属层,可以在金属层上形成光致抗蚀剂,然后可以使用蚀刻剂组合物...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。