一种基于氧化锌纳米管的表面等离子体光波导结构的制作方法技术资料下载

技术编号:18429435

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本发明涉及一种纳米光波导结构,可用于纳米光子集成器件背景技术表面等离子激元是一种在金属-介质界面上激发并耦合电荷密度起伏的电磁振荡,具有近场增强、表面受限、短波长等特性。表面等离子光波导中场沿着金属表面传输,并且场约束在金属表面极小的尺度范围内,并且在金属表面场强明显增强。利用表面等离子激元可以实现突破光学衍射极限的光波导,从而大大缩小光路的尺度并提高集成度。2008年,美国加州大学伯克利分校的R.F.OULTON,等人提出一种由高介电常数的纳米棒和金属构成的表面等离子光波导(详见文献1:R.F...
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