一种IGBT元胞结构版图的制作方法技术资料下载

技术编号:18436443

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本实用新型涉及半导体技术领域,具体为一种IGBT元胞结构版图。背景技术IGBT绝缘栅双极型晶体管,是由BJT和MOS组成的复合全控型电压驱动式功率半导体器件,兼有MOSFET的高输入阻抗和GTR的低导通压降两方面的优点,非常适合应用于直流电压为600V及以上的变流系统如交流电机、变频器、开关电源、照明电路、牵引传动等领域。在现代半导体电子工业中,IGBT元胞结构版图得到了广泛使用,现有的结构版图在使用时,栅极压焊点和源极压焊点与元胞区之间的位置存在差异,这样容易使得元器件的开关时间不一,从而导致...
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