技术编号:1843671
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种使用OVD方法制造玻璃颗粒沉积体的装置和方法,更确切地说,是涉及能在沉积操作时防止杂质混入玻璃颗粒沉积体的玻璃颗粒沉积体制造装置及方法。背景技术 在使用OVD方法中通过把SiCl4或GeCl4的玻璃原料气体从燃烧器供给氢氧气火焰,由于火焰的水解反应产生SiO2或GeO2玻璃颗粒,玻璃颗粒被沉积在围绕一个起始棒的径向方向,在用OVD(Outside VapourDeposition外汽相沉积)方法制造玻璃颗粒沉积体时,由燃烧器产生的玻璃颗粒被沉...
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