技术编号：18441096
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于半导体加工设备领域，涉及一种角阀。背景技术在半导体制程工艺中，反应腔通常需要与抽气部件相连接，用以移除反应腔中的污染物。而角阀由于具有流路简单，死区及涡流区较小，流阻小，流量系数大的特点被广泛应用于工业生产设备中。在半导体制程工艺中，通常将角阀进口与反应腔相连接，角阀出口与抽气部件相连接，通过角阀移除反应腔中的污染物，并控制反应腔的压力。然而，在角阀进行工作的过程中，部分污染物依然会沉积在角阀中，尤其附着于角阀进口的内壁上，随着污染物的堆积，该部分污染物会导致角阀控压异常，在工艺参...
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