一种晶棒取晶车的制作方法技术资料下载

技术编号:18445786

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本实用新型涉及晶棒的运输领域,特别是涉及一种晶棒取晶车。背景技术单晶硅的制作工艺其中一步是拉晶,所谓拉晶就是用单晶炉把多晶硅加热融化,再用籽晶向上拉引,慢慢形成一个长筒状的晶棒,晶棒从单晶炉中取出时需要利用取晶车接送。随着拉晶技术的快速发展,晶棒的长度越来越长,在可预见的未来,晶棒长度还会继续增加,长晶棒所占的比重将会越来越大。在单晶硅制造技术领域中,由于单晶炉炉台的高度有限,在取晶棒的过程中,晶棒要下降到单晶炉工作平台以下方能取出,晶棒的长度越长,下降到工作平台以下的长度就越长,当晶棒完全离开...
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