技术编号:18447143
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及光谱分析仪器,具体涉及光谱仪角镜移动控制系统。背景技术干涉仪是光谱仪的核心部件,干涉仪主要由动镜、定镜、分束镜以及检测器组成,在实际的分析检测过程中,为了保证光路质量,因此不仅要保证动镜移动的均匀性以及速度,而且要避免动镜的转动。传统的动镜移动方式主要有两种,其一是通过电机旋转机械控制动镜移动;其二是通过电控气动液压的方式控制动镜移动。两种方式虽然都能实现动镜的移动,但由于电机旋转机械控制的动镜通常机械摩擦大而震动大,存在一定缺陷;而电控气动液压控制虽然震动小,但其结构大,不利于仪...
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