技术编号:18449090
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种单晶炉热场零件,具体地说是一种单晶炉用导流筒,特别是涉及一种可调节导流筒外屏高度的导流筒外屏及导流筒。背景技术导流筒是单晶硅拉制炉热场系统的关键元件之一,主要用于控制热场的轴向温度梯度和引导氩气流。导流筒阻隔单晶炉体以及熔硅对晶体的热辐射,利于晶体散热,形成晶体生长所需的温度梯度,以提高晶体生长速度;引导由单晶炉顶从上向下吹的氩气集中地喷吹到固液界面附近,维持其清洁度,同时更加有利于晶体散热,加大晶体生长所需的温度梯度,以提高晶体生长速度;对高温硅熔体起保温作用,节约能源。目前...
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