技术编号：1845169
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及压电器件背景技术压电膜的应用极其广泛，例如可应用于喷墨打印组件和表面声学器件。当施加电压时喷墨打印组件中的压电膜会发生大的形变。施加电压能够改变该组件的喷射区域中的压电膜的形状，对该组件中的油墨施加喷射压力；紧接着喷射压力将油墨从压油室射出并使油墨沉积在介质上。压电膜可以由锆钛酸铅(“PZT”)组成。压电膜可以用以下方法形成，包括物理气相沉积技术如溅射、化学气相沉积、或者旋涂技术如溶胶-凝胶法。较厚的压电膜的制备可以通过增加沉积时间、重复沉积单层...
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