技术编号:18455288
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及超高真空和精密测量领域,特别涉及一种超高真空条件下准确测量样品温度的测温装置。背景技术在超高真空条件下测量样品的实际温度非常困难,现有技术中主要使用接触式与非接触式两类测温方式。接触式测温通常有两种方法,其一是把热电偶点焊在样品上,但是该方法更换样品时需要破坏腔体的真空,操作复杂,成本高昂,并且更换周期长,工作效率低,并且该方法需要将样品长时间暴露在空气中,不适用于对于空气敏感的材料;其二是将样品固定在可传递型的样品托上,热偶固定在样品台上,更换样品台上的样品托即可更换样品,热偶通过样...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。