技术编号:18455727
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于光学薄膜技术领域,涉及一种用于真空紫外波段的铝基高反射镜的制备方法。背景技术高反射镜是真空紫外波段天文观测、自由电子激光装置等研究方面的重要光学元件之一。由于在100nm以上的紫外光谱区域中,Al膜具有任何已知膜材料的最高固有反射率和较好的粘附性,所以Al是该波段高反射元件的首选材料。Al镜被用于多项真空紫外波段任务的膜层光学组件,包括国际紫外线探测任务(IUE),太空望远镜轴向置换校正光学系统(COSTAR),戈达德高分辨率光谱仪(GHRS),太空望远镜成像光谱仪(STIS),宇宙起...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。