技术编号:18456171
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及真空泵装置、及用于该真空泵装置的泵主体单元、控制单元、以及间隔件,特别地,涉及设为能够使与泵主体单元一体化的控制单元变薄及紧凑化的构造的真空泵装置、及用于该真空泵装置的泵主体单元、控制单元、以及间隔件。背景技术以往,已知在具有吸气口及排气口的罩的内部使转子高速旋转来进行排气处理的涡轮分子泵等真空泵。此外,也已知把控制将用于使该真空泵主体的转子旋转的马达的驱动的真空泵控制装置(控制器)与该真空泵主体电气连接而成的真空泵装置(例如,参照专利文献1)。这样,通过使用真空泵装置进行排气处理来将...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。