技术编号：18457961
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及平板样品缺陷检测技术领域，具体是涉及一种高灵敏度的自动光学检测方法及设备。背景技术自动光学检测(AOI)设备是显示平板和半导体集成电路和芯片制造的关键设备，用以诊断和改善制造工艺过程中的产品质量，降低制造成本。检测灵敏度、稳定性和能检测到的缺陷种类是自动光学检测设备的关键技术指标。随着新技术的应用和工艺水平的进步，越来越复杂的制程对检测灵敏度和检测种类多样化的要求也越来越高，同时为提高生产量，设备的检测时间也是重要的技术指标。高灵敏度的检测要求检测成像系统具有较高的成像质量，此时除了要...
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