技术编号:18459445
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及扫描电子显微镜样品台冷却技术领域,尤其涉及一种扫描电子显微镜温度调节系统及方法。背景技术目前,扫描电子显微镜通常只能测试室温环境下的样品温度。近年来也出现了一部分使用液氮作为冷源的扫描电子显微镜冷头,其具体冷却方式是将液氮引入扫描电子显微镜内部直接冷却样品台。此种冷却方式存在着几个问题:一是冷却温度区间窄,使用液氮,温度只能在77K附近;二是控温精度不高,通过控制液氮流量的方式控温难以达到高精度控温,通常温度波动高达1-2K,甚至更高;三是将液氮引入扫描电子显微镜内部,不可避免的引入振...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。