技术编号:18459505
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及仪器仪表技术领域,具体涉及一种基于声表面波传感器的测量仪及测量方法。背景技术频率是现代电子电路中最重要的参数之一,在众多领域中都有重要的意义。当今,声表面波(Surface Acoustic Wave,SAW)传感器是一种利用声表面波器件作为传感元件,将被测量的信息通过声表面波器件中声表面波的速度或频率的变化反映出来,并转换成电信号输出的传感器。声表面波传感器能够精确测量物理、化学等信息,如温度、应力、气体密度。目前已经形成了包括声表面波压力传感器、声表面波温度传感器、声表面波生物基因...
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