技术编号:1846193
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种将二氧化硅作为主要构成成分的,特别是涉及一种低成本、高尺寸精确度的。背景技术二氧化硅玻璃,是被使用作为大规模集成电路(LSI)制造用投影曝光装置(微影装置)的透镜、棱镜、光掩模或显示器用TFT基板、紫外线或红外线灯用管、窗材、反射板、半导体工业用洗净容器、二氧化硅半导体熔融容器等。因此,以往就已提案有各种二氧化硅玻璃的制造方法。例如,在专利文献1中,公开了一种方法,所述方法将硅烷氧化物(silicon alkoxide)水解而成为二氧化硅溶胶...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。