技术编号:18473260
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种检验设备,更具体的说是涉及一种气密性检测装置。背景技术现有一芯片,具有一个外壳,外壳上有一个线路接口和另外两个连接气压源的连接口。该外壳在芯片工作时,内部气压会影响芯片的输出信号,因此需要一定的气密性(即:在规定的时间内,控制气压的下降值)。在生产这一芯片时,就需要对其进行气密性检测,从而确保芯片合格。现在检测气密性时,需要人工插拔三个连接口,操作麻烦。发明内容针对现有技术存在的不足,本发明的目的在于提供一种气密性检测装置,辅助实现接口的插拔,方便检测操作。为实现上述目的,本发明提...
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