技术编号:18482732
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种半导体气体传感器的气-液界面加工方法。背景技术气体传感器在环境检测方面占据重要地位,电阻型半导体气体传感器是目前市场上应用最广泛的一类气体传感器,约占市场份额的85%,其基本加工方法为:首先,采用各种方法制备粉末材料;其次,将粉末材料涂成浆料;随后,将浆料手工涂覆在陶瓷衬底上(目前的衬底主要是陶瓷管)并煅烧固化涂层;最后,将陶瓷管焊接在底座上完成传感器的加工。显然,这种手工涂覆为核心的传感器加工工艺存在几个明显的问题:第一,操作繁琐;第二,薄膜由手工涂覆获得,薄膜中的颗粒之间存在过...
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