技术编号：1848746
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及对在硅片切片机的加工过程中出现断线事故进行抢救的抢救方法。具体地，本发明涉及在发生断线事故的硅片中保留断线钢线，用于固定硅片位置以利于重新布线对刀的方法。背景技术随着全球各国绿色能源的推广和近年来半导体产业的超常规发展，硅片市场的供给已极度不平衡，切割加工能力的落后和产能的严重地制约了产业的发展。近年来出现的新型硅片多线切割技术现已是硅片(晶圆)上游生产的关键技术，具有切割表面质量高、切割效率高和可切割大尺寸材料、方便后续加工等特点。目前已有商业...
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