技术编号:18488611
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及晶圆制造附属装置的技术领域,特别是涉及一种自清洁过滤器。背景技术众所周知,过滤器是一种用于晶圆制造过程中,对产生的粉末进行收集并处理的装置,其在晶圆制造的领域中得到了广泛的使用;现有的过滤器包括风机、过滤布袋、左法兰和右法兰,风机输入端设置有过渡管,右法兰与过渡管固定连接,左法兰与右法兰螺装连接,左法兰输入端设置有吸气管,吸气管输出端与左法兰连接,过滤布袋安装在吸气管内部;现有的过滤器使用时,风机螺装至地面,左法兰和右法兰分别与吸气管和过渡管连接,左法兰和右法兰通过第一螺栓连接,风...
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