技术编号:18490053
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及单晶制备装置领域,具体涉及一种单晶炉及其连续加料装置。背景技术目前,直拉法硅单晶炉是大多数厂商生产单晶硅棒的主要设备,在保证单晶硅棒性能优良可靠的前提下,如何降低产品的制造成本是单晶硅制造厂家一直以来努力寻求的。面对行业需求,增大单炉投料量,提升单晶炉的单炉产量和效率,成为了行业重要的发展方向。直拉单晶硅除了有生产流程长、工艺繁琐的缺点外,还有坩埚小,而且不能连续加料等弱点。因此,每融化一坩埚的多晶硅料只能拉一根单晶棒。每拉一根单晶棒就要降一次温,就得停一次炉,拆一次炉,清理一次热...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。