技术编号:18490060
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及多晶硅铸锭技术领域,特别涉及一种多晶硅铸锭炉。背景技术多晶硅铸锭炉是光伏行业中上游的关键设备,主要用于太阳能级多晶硅铸锭的生产。现有技术中,多晶硅铸锭均采用将盛放有硅料的坩埚置于多晶硅铸锭炉内,利用多晶硅铸锭炉内的加热器对坩埚进行加热,使硅料熔化,再通过热量交换,降低硅溶液温度,实现晶体的定向生长。在多晶硅铸锭过程中,坩埚受热不均匀,导致位于坩埚四个角部区域硅锭温度低于其他区域硅锭的温度,在后续形核过程中影响角部区域硅锭的生长,从而导致硅锭质量下降。实用新型内容有鉴于此,本实用新型...
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