技术编号:1850344
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种。 背景技术太阳能铸锭坩埚装料前需喷涂氮化硅以隔离石英坩埚与硅液。在喷涂过程中需加热石英坩埚,使氮化硅液均勻的吸附在坩埚表面,形成粉状涂层。现有的坩埚加热旋转台具有四块侧板和底板,在侧板和底板上具有加热板,其存在的问题是局部温度过高会影响喷涂的质量,现有的设备没有加入超温保护。发明内容本发明所要解决的技术问题是提供一种,防止加热板一直加热,超过喷涂所需的温度极限。本发明解决其技术问题所采用的技术方案是一种,在四块侧板及底板上分别装入一个热电偶...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。