技术编号:18507635
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于单晶炉技术领域,具体涉及一种准单晶铸锭炉下炉体风门传动机构。背景技术准单晶铸锭炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,是基于准单晶铸锭炉的工艺生长无错位单晶的设备,准单晶(Mono Like)是基于多晶铸锭的工艺,在长晶时通过部分使用单晶籽晶,获得外观和电性能均类似单晶的多晶硅片,这种通过铸锭的方式形成单晶硅的技术,其功耗只比普通多晶硅多,所生产的单晶硅的质量接近直拉单晶硅,简单地说,这种技术就是用多晶硅的成本,生产单晶硅的技术,当下量产的准...
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