多级罗茨泵的制作方法技术资料下载

技术编号:18515209

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本发明涉及一种多级罗茨泵。【背景技术】罗茨泵包括例如布置在泵室中的双齿旋转活塞。每一泵室提供的两个旋转活塞沿相反方向驱动,使得气体经由主入口通过单独的室进入并且经由主出口排出。在此,主入口以及主出口沿径向方向延伸并且彼此相对地布置。此外,已知多齿旋转活塞,特别是包括三个或四个齿的旋转活塞。在此,同样,气体实质上从径向布置的主入口径向泵送到径向布置的主出口。此外,已知多级罗茨泵用于获得低压力。此类罗茨泵每一级包括一对旋转活塞。在此,待泵送的气体从泵级的出口输送到相邻泵级的入口。这借由连接管道实现。...
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