技术编号：18515711
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及通过检测静电电容的变化来对压力进行测量的压力传感器。背景技术在静电电容式隔膜真空计等压力传感器中，将包含膜片(隔膜)的传感器芯片安装在供测定对象的气体流动的配管等中进行使用。该压力传感器将受到压力的膜片的挠曲量、即位移转换为静电电容值，并根据静电电容值输出压力值。该压力传感器的气体种类依赖性较小，因此被广泛用于以半导体设备为代表的工业用途(参照专利文献1、专利文献2)。如图10所示，上述隔膜真空计等压力传感器的传感器芯片具有膜片302和基台301，该膜片302受到来自测定对象的压力，该...
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