图像传感器及其形成方法与流程技术资料下载

技术编号:18517533

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本发明涉及半导体领域,尤其涉及一种图像传感器及其形成方法。背景技术图像传感器可用于感测辐射,例如,光辐射,包括但不限于可见光、红外线、紫外线等。图像传感器按照其接收辐射的方式分为背照式(BSI)图像传感器和前照式(FSI)图像传感器。背照式图像传感器能够从其背面接收辐射。不同于前照式图像传感器,在背照式图像传感器中,布线等可能影响辐射接收的部件基本位于基底的正面,而光线从基底的背面入射进入。这样,能够使入射光入射到光电二极管中,而不会被布线遮挡,从而提高了入射光量,能够显著提高光照条件下的拍摄效...
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