技术编号:1853193
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及改善了耐久性及加工性的石英玻璃、其制造方法,以及由该石英玻璃构成的部件,以及使用该石英玻璃部件的装置。该石英玻璃的耐久性和加工性优异,具备由该石英玻璃构成的部件的部件适合作为使用等离子体的半导体制造装置及液晶制造装置等的部件。该卤化物气体及其等离子体因其反应性高而应用于干刻蚀工序中的刻蚀气体或热CVD工序中的清洁气体等各种各样的工序中,使用的卤化物气体种类也从氟系气体即F2、HF、CF4、C2F6、C3F8、C4F8、CHF3、SF6、NF3,氯...
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