技术编号：1853362
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种摆动机构，特别涉及一种切割蓝宝石用的电动摆动机构，属于蓝宝石切片设备的。背景技术蓝宝石是加工蓝光二极管的重要材料，在半导体领域具有举足轻重的地位。在形成用于制作蓝宝石衬片之前，要对蓝宝石进行切片。现有技术中，对蓝宝石多采用线切割工艺进行加工，加工时，通过高速运动的切割线对蓝宝石进行切片。蓝宝石衬片切片是蓝宝石基板制造中非常重要的一项工艺流程，它决定了蓝宝石切片后晶片的总厚度变化，翘曲度， 表面粗糙度等相关质量，直接影响到接下来的双面研磨，倒角...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。