技术编号：18542627
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及半导体领域，特别涉及切割设备安全门互锁联动系统。背景技术切割工序是使用高速运转的铣刀对生产出来的Memory Module进行分板切割工序，其中铣刀切割时转速可达50000RPM以上，正常切割过程中安全门可以被打开，存在安全隐患，考虑在安全门增加安全门锁，实现切割过程中安全门无法打开，切割完成安全门自动打开的联动系统，提升员工的作业安全。现有技术主要问题点：1、设备生产过程中，门可以打开，此时铣刀仍然在运转，容易造成安全事故；2、工作台1吸取回收后有制品残留，工作台2切割进程中，5...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。