技术编号:1857498
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于单晶硅片制造工装,涉及一种晶托定位板。 背景技术在将单晶硅方锭送入切割机切割成单晶硅片之前,需要将方锭粘贴在晶托上,然后将晶托倒挂送入切割机。晶托的主体为金属块,在金属块上粘贴单晶硅方锭之前,需要先在金属块上粘贴玻片,当玻片粘胶干透以后,再在玻片上涂覆单晶硅粘胶,将单晶硅方锭粘贴在玻片上,等单晶硅粘胶干透以后,在将晶托和单晶硅方锭一起送入切割机。切割机内的金属切割线切割完单晶硅片以后,只与玻片接触,避免了金属切割线与金属块接触,既保护了金属块...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。